Šta je ploča za poliranje keramičkih pločica od visokočistoće aluminijumskog oksida?

S brzim razvojem poluprovodničke industrije, obim industrije se brzo povećao, a oprema za proizvodnju poluprovodnika nastavila je da se razvija u preciznost i složenost. Budući da keramika ima prednosti visoke tvrdoće, visokog modula elastičnosti, visoke otpornosti na habanje, visoke izolacije, otpornosti na koroziju, niskog širenja itd., može se koristiti kao dio mašina za poliranje silicija, opreme za epitaksijalnu/oksidacijsku/difuzijsku termičku obradu, litografskih mašina, opreme za taloženje, opreme za nagrizanje poluprovodnika, mašine za jonsku implantaciju i druge opreme, tako da istraživanje, razvoj i proizvodnja preciznih keramičkih dijelova direktno utiču na razvoj poluprovodničke industrije. Tehnički zahtjevi za njihovu pripremu postaju sve veći i veći.

Alumina visoke čistoće, 99,7%-99,9% aluminija.
Visoka mehanička čvrstoća, visoka otpornost na habanje, visoka električna izolacija, visoka hemijska stabilnost, dobra otpornost na toplotu i otpornost na koroziju. Trenutno je upotreba keramičkih brusnih diskova za brušenje poluprovodničkih silicijumskih pločica najsuperiornija i najsavremenija metoda brušenja. Dvostrani proces brušenja koristi se za brušenje izrezanih silicijumskih pločica, a kvalitet brusne pločice se poboljšava poboljšanjem procesa brušenja (materijal diska, tečnost za brušenje, pritisak brušenja i brzina brušenja itd.). Konkretno, upotreba keramičkih ploča umjesto ploča od lijevanog željeza, kako bi se izbjeglo brušenje na glavnoj površini pločice uzrokovano ožiljcima ili zagađenjem, smanjio unos metalnih jona, mogao bi smanjiti naknadnu obradu silicija, skratiti vrijeme naknadnog procesa (korozije), poboljšati efikasnost proizvodnje i smanjiti gubitke pri obradi silicija, što značajno poboljšava iskorištenje silicija.

Ploča za poliranje visokokvalitetnih aluminijevih pločicaKoristi se u poluprovodničkoj, naftnoj, hemijskoj, fotonaponskoj, industriji tečnih kristala i drugim industrijama, kao što su mehanički dijelovi, elektronski dijelovi, mikrotalasni indukcijski diskovi, izolacijski materijali i drugi dijelovi, poluprovodnički uređaji, vakuumska oprema, oprema za proizvodnju tečnih kristala i drugi dijelovi. Aluminijumska keramika velikih dimenzija i visoke čistoće ima važnu primjenu u industriji safira i industriji poluprovodničkih čipova. Ključna je podrška i potrošni materijal za hemijsko-mehaničko poliranje (CMP) safirnih i poluprovodničkih silicijumskih pločica. Aluminijumska keramika velikih dimenzija i visoke čistoće može se koristiti i kao aluminijumska podloga za LCD.